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FFU设计规范及FFU的设计指导和标准
FFU(层流送风单元)是洁净室中的关键设备,FFU设计直接关系到洁净室的整体性能和效率。本规范旨在为FFU的设计提供指导和标准,确保FFU在满足洁净度要求的同时,具有稳定性和耐用性。
第一节 FFU设计原则
气流控制:FFU设计应保证层流气流的稳定性,防止气流的湍流和涡流。
高效过滤:FFU应配备高效过滤器,如HEPA滤网,以达到高洁净度要求。
能耗优化:在设计FFU时,应考虑风量和压力损失,以实现高效、节能的设计。
安全可靠性:FFU的设计应确保设备在长期运行中保持稳定性和可靠性。
维护便利性:设计时应考虑FFU的维护方便性,以便于更换过滤器等维护操作。
第二节 FFU主要部件设计
壳体设计:FFU壳体应采用耐腐蚀、抗冲击的材料,确保在洁净室环境中稳定耐用。
过滤单元:HEPA过滤器是FFU的核心部件,其设计和选型应确保达到预期的过滤效率和尘埃容量。
送风机:选择适合的风机,以保证足够的空气流量和合适的气流速度。
控制面板:FFU应配备直观的控制面板,便于用户操作和监控。
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第三节 FFU尺寸与流量设计
尺寸选择:FFU的尺寸应根据洁净室的具体需求和空间限制进行设计。
流量设计:根据洁净室的空气变化率(ACH)计算所需的风量,确保FFU的风量能够满足洁净度要求。
第四节 FFU气流分布设计
气流路径:设计合理的气流路径,使气流从FFU顶部均匀流出,避免产生死角。
风速分布:通过风速测量,确保洁净室内的风速均匀分布,满足洁净度级别要求。
第五节 FFU性能测试与验证
静态压差测试:进行静态压差测试,以验证FFU在正常工作条件下的压力分布。
气流速度分布测试:使用风速仪在洁净室内部进行气流速度分布测试,确保气流符合设计要求。
尘埃测试:通过尘埃捕获实验,验证FFU的过滤性能是否满足洁净度要求。
第六节 维护与保养指南
过滤器更换:定期更换HEPA过滤器,确保过滤效率。
定期清洁:根据使用情况和尘埃污染情况,定期对FFU进行清洁。
系统检查:定期对FFU的系统进行检查和维护,确保其长期稳定运行。
第七节 结论
FFU的设计规范是保证洁净室正常运行和产品质量的重要依据。通过遵循本规范,可以确保FFU在满足洁净度要求的同时,具有高效、稳定和易于维护的特性。