FFU风机过滤器单元使用说明书

风机过滤器单元 FFU使用说明书

请详细阅读本说明书，并妥善保存，以备日后维护时参考  。
1-1 风机过滤器单元
风机过滤器单元（FFU ）是一种 自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装 置 。
风机从 FFU 顶部将空气吸入并经 HEPA 过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业 。
● 使用环境
•周围温度：5℃～40℃
•湿度：低于 85%RH(没有湿气凝结状态下)
•周围空气：一般室内空气
•清净度：100-10 级
•请避免连续反复 ON/OFF 操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组，将会影响制品性能，并可能会发生电气短路现象，造成电气部件损坏，缩短制品使用寿命。为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅第 4 页的〝重要安全事项〞。

2 1-2 结构及特点

(1) 主要部件

1 2-1 安装使用环境
● 风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
● 设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物，以免发生火灾。
● 请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品，如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
● 请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品，如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2 2-2 运送与安装
● 请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品，搬运时务必保持水平，如果使用轻便推车等工具运送时，请选用车台超过机体包装宽度的推车。
● 机体安装后，机体上方至少须预留 30 公分以上的空间，以利将来机体维修，未预留足够的维修空间，机体将无法进行维修及部件更换。
● 试运转前，请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
3 2-3 安装 • 使用注意事项
● 风机过滤器单元安装于无尘室时，请务必遵守下列指示
● 当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
● 切勿直接重压风机过滤器单元机体，以免造成机体变形。
● 请勿以沾湿的手操作机体，以免发生触电危险。
● 请勿遮蔽机体吸入口及吹出口，机体吸入口及吹出口被遮蔽，将导致机体性能无法正常发挥，造成机体功能异常或电气部件损坏。
● 实施第三种接地工事，以避免电击产生之危险。
. 2. 重要安全事项
3-1 1 1 1 运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项：
● 机体外部电源是否连接，电源供应是否妥当。
● 机体接地工事是否已实施。
● 机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2 2 2 2 运转时注意事项
(1) 开始运转
● 当电源开启后，机体即开始运转。
● 机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生，机体无法正常运转时，请向经销服务人员反映。
● 机体内部有异物，机体离心风扇无法正常旋转。
● 机体内部电线脱落，接头松脱。
● 机体内部电气部件，如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
● 运转后如发现异常现象，请即切断电源，停止机体运转。

4. 维修 • 点检
● 自购买日起进行定期检查，请勿自行检查，以免造成触电或火灾等事故发生。
● 除了维修人员外，请勿自行拆解、修理或变更规格，以免造成触电或火灾的发生。
● 当更换滤网等部件时，请注意不要损坏滤纸。
● 维修•点检时，请务必先切断电源，停止机器运转后再实施，以免发生触电或伤害危险。
● 当安装•维修•点检完成后，在机体起动前，请确定机体基础稳固。
4-1 日常维护
每天工作开始之前请依表 2.点检下列各项，当发现有不正常的情形，立即切断电源并采取改正措施。

4-2 定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后，因使用环境及使用状况之差异，为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转，请务必实施下列定期点检。
4-2.1 定期维护
(1)定期维护项目请依表 3.所示，对风机过滤器单元实施定期点检，当部件寿命已至时，请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命，会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄 漏 (腐蚀气体…..等) 意外发生，
停机再启动后，请务必实施相同的检查。

3. 定期维护项目

表 4  消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )

4.2.2 点检完成
点检完成后，清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况；保留点检报 告 ,当部件更换或机体更新时作为参考。
3 4-3 故障排除
•若有以下现象发生，连络本公司并告知机身编号、机型、电压及不良现象(尽可能详细) ，然后慎重的调查问题的起因及采取适合的改善措施。

● 非服务技术人员请勿拆解、修理或修改风机过滤器单元，以避免造成严重的意外，例如触电或火灾。

● 当需要更换服务备品时，请务必依本说明书中表 1.所列之部件名称提供予服务人员。
● 任何未经认可之代用品，不仅可能会影响风机过滤器单元的性能，同时可能造成火灾、触电或其它危险。