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重点介绍无尘室定义及无尘室等级

重点介绍无尘室定义及无尘室等级

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重点介绍无尘室定义及无尘室等级 什么是无尘室?无尘室定义是什么?无尘室等级分为哪些?本文重点介绍无尘室定义及无尘室等级。无尘室又称为洁净室,是根据需要,对空气中尘粒(包括微生物)、温度、湿度、压力、和噪声进行控制的密封空间,并以其洁净度等级符合规范规定为主要特征。 依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将 …

重点介绍无尘室定义及无尘室等级

什么是无尘室?无尘室定义是什么?无尘室等级分为哪些?本文重点介绍无尘室定义及无尘室等级。无尘室又称为洁净室,是根据需要,对空气中尘粒(包括微生物)、温度、湿度、压力、和噪声进行控制的密封空间,并以其洁净度等级符合规范规定为主要特征。

无尘室又称为洁净室,是根据需要,对空气中尘粒(包括微生物)、温度、湿度、压力、和噪声进行控制的密封空间,并以其洁净度等级符合规范规定为主要特征。

依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室(又名洁净室,无尘车间)分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。

一、无尘室定义

将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。
无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。

二、联邦规格无尘室等级
现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(U.S.Federalstandard209b),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格(美国航空署5340.2规格)。其Fed.std清洁度的表示法为:1ft3空气中,含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:空气中含有10个0.5以下时,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。

三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级
一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2???8,8阶段。在1立方公尺的空气中,粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。
21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室用防尘材料及商品都显得格外重要。

所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

二、无尘车间标准-等级

美国联邦标准(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3

洁净度级别 粒径(um)

0.1 0.2 0.3 0.5 5.0

1 35 7.5 3 1 NA

10 350 75 30 10 NA

100 NA 750 300 100 NA

1000 NA NA NA 1000 7

10000 NA NA NA 10000 70

100000 NA NA NA 100000 700

中国药品生产无尘车间(区)的空气洁净度标准

洁净度级别 尘埃最允许数/平方米 微生物最大允许数

≥0.5um 5um 浮游菌个/立方米 沉降菌个/皿.30min

100 3500 0 5 1

10000 350000 2000 100 3

100000 3500000 20000 500 10

300000 10500000 61800 NA 15

无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级GB50073-2001

空气洁净度等级(N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

1 10 2

2 100 24 10 4

3 1000 237 102 35 8

4 10000 2370 1020 352 83

5 100000 23700 10200 3520 832 29

6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

7 352000 83200 2930

8 3520000 832000 29300

9 35200000 8320000 293000

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